净化厂房（洁净区）监测标准表（下篇）

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版本号

生效日期

变更原因、依据及详细变更内容

00

2014年1月1日

原始版本

区域

内容

10000级区

100级

温湿度

标   准

温度18－26℃，相对湿度45%－65%

测定频次

2次／班（上、下午各一次）

压差

标    准

  不同洁净级别≥5Pa、与外界相连≥10Pa，相同洁净度级别不同功能房间压差梯度不小于3Pa

测定频次

2次／班（上、下午各一次）

悬浮

粒子

静态标准

（个／m3）

≥0.5um

≥5um

≥0.5um

≥5um

≤350000

≤2000

≤3500

0

测定频次

1次/季度

1次/季度

动态标准

（个／m3）

≥0.5um

≥5um

≥0.5um

≥5um

≤3520000

≤29000

≤3520

20

测定频次

1次/周

1次/周

沉降菌

静态标准

（CFU/皿）

≤3

＜1

测定频次

1次／季度

1次／季度

动态标准

（CFU/皿）

≤50

平均应＜1

测定频次

1次／周

1次／班

浮游菌

动态标准

（CFU/ m3）

≤100 CFU/ m3

＜1

测定频次

1次／周

1次／周