恒湿恒湿无尘车间案例解析

   科瓦特长期服务于电子行业的洁净室，无尘车间建设中，现对LED芯片的生产车间要不要

做恒温恒湿无尘车间，具体工艺怎么样？无尘车间的温湿度，洁净度等具体要求又是多少

进行实际解析：


LED芯片的制造工艺流程 
  
     LED芯片的制造工艺流程： 外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→

平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光

刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。



    具体要不要做无尘车间决取于你在以上LED芯片的上游还是下游，具体的生产工艺包括哪些？像

我们科瓦特给**LED芯片客户无尘车间工艺里面有焊接或者锡膏或者有光刻曝光工艺的都会受温湿

度影响的，因为温度会影响锡膏的活性，对于里面所添加的助焊剂的相关溶剂的活性有一定的影响。

温度高会增加其的活性，最终影响丝印贴装及回流的效果。容易出现虚焊，焊点不光泽等现象。

湿度的大小回引起锡膏在空气中吸入水气的多少，如过吸如过多水气，会使回流时产生气空，飞渐，

连焊等现象。

   科瓦特工程部在给客户大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热

膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必

须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半

导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上

会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

根据我们中山科瓦特多年总结的经验得出

LED芯片（MOCVD，外延）

LED封装封装-应用

前者LED芯片外延洁净车间特点：

大排风、特气二次配

后者LED封装封装洁净车间特点：

防静电、加湿、调胶-隧道炉-烤箱排风、

其中做LED应用（LAMP）的普遍要求低

   回望当年我们给客户****做LED装封洁净厂房，惠州，珠三角广州，深圳每年一期洁净室，每期洁净室

最少两层楼，每期洁净室均会要求要恒温恒湿空调。

庆幸LED行业又到蓬勃发展时期，中山科瓦特净化工程有限公司将竭诚为新老客户提供力所能及的服

务：LED芯片-封装-应用洁净室规划、施工、节能改造。
 
 LED属于电子行业除了生产之外还需要对产品品质进行试验，根据国家GB 2423.11-1982标准，电工电

子产品基本环境试验规程对其试验环境是有严格要求的.

            

以下由于篇幅有限只列出国家有关电子行业最标准的测试环境：
 
  通常包括：预处理（必要时）；初始检测（必要时）；条件试验；中间检测；恢复（必要时）；

最后检测。

 (1)基准标准大气条件  指温度为20°C,气压为101.3kPa(1013mbar)时的大气条件。

(2)仲裁试验的标准大气条件  一种统一规定的测试用标准大气条件。

 (3)试验的标准大气条件 温度：15--35 相对湿度：45--75% 气压：86--106kPa

(4)恢复条件

 a.无特殊规定时为在试验的标准大气条件下恢复。 

b.如对温度条件的变化十分敏感，则应在控制恢复条件下恢复.  温度：实验室温度±2°C,但不超过15--

35°C的范围。 相对湿度为72%--78%，气压：86--106kPa
 
 
科瓦特主营产品或服务：
 
1、洁净车间、洁净厂房、净化车间、净化厂房、无尘室、净化工程、洁净工程、洁净手术室、层流手

术室、无尘厂房等洁净室工程净化设计、施工、调试、维护保养等；
 
2、100级到1000万级别的洁净手术室、无尘无菌室、动物实验室,整体实验室设备工程，食品车间净化

工程，LED显示屏无尘车间，化妆品无尘室等；
 
3、企业、医院、酒店、工厂、商场、办公大楼空调工程,水电、配管、电力、机电设备工程；
 
4、彩钢板工程，各种防尘、抗静电环氧树脂地坪、防静电PVC地板工程；
 
5、线路板、背光源、模组、印刷洁净厂房恒温恒湿工程；中央空调工程，冷库热水工程，净化工程。