|
洁净度100级 |
cleanliness class 100 |
大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒／m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒／m3(3.5粒/L)； |
大于等于5μm的尘粒数为0 |
|
洁净度1000级 |
cleanliness class 1000 |
大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒／m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒／m3(35粒/L) |
大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒／m3(0.3粒／L) |
|
洁净度10000级 |
cleanliness class 10000 |
大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒／m3(35粒/L)到小于等于350000粒／m3 (350粒／L) |
大于等于5μm 的尘粒数大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3 (3粒/L) |
|
洁净度100000级 |
cleanliness class 100000 |
大于等于0.5μm的尘粒数大于350000粒／m3(350粒/L)到小于等于3500000粒／m3 (3500粒／L)； |
大于等于5μm的尘粒数大于3000粒／m3(3粒／L)到小于等于30000粒／m3(30粒／L) |
|
洁净度300000级 |
cleanliness class 300000 |
大于等于0.5μm的尘粒数大于3500000粒／m3(3500粒／L)到小于等于10500000粒／m3 (10500粒/L) |
大于 等于5μm的尘粒数大于30000粒／m3(30粒／L)到小于等于90000粒／m3 (90粒/L) |
